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打破国外技术垄断 “合肥造”光刻设备填补国内空白


合肥在线讯(记者 荚妤)光刻机,是一种专门用来制造芯片的核心设备,这种设备由于属于高尖科技,被发达国家列入禁止出售,因此导致国产芯片发展长期受阻。长久以来,国内不管是芯片,还是制造芯片的高端装备都依赖于国外进口。而位于高新区的合肥芯碁微电子装备有限公司却通过自主创新改变了这一状况并实现了对外出口。多台“合肥产”的光刻设备出口到中国台湾地区、东南亚、韩国等地,年创汇达到两千万以上。

据了解,芯碁公司将在4月24日开馆的安徽创新馆展出主营产品激光成像LDI设备中的Acura系列,该设备采用国内首创双台面激光直接成像技术,将生产效率提高了1.8倍,设备的线宽分辨率、对位进度、产能三大核心指标均处于先进水平,主要应用于IC封装载板以及TP的曝光。

合肥芯碁微电子装备有限公司成立于2015年6月,公司经过三年多的探索,目前已经形成了自己的产品主线,包括半导体无掩模光刻设备,高端PCB专用激光直写成像设备(软板,HDI,自动线、防焊DI),以及显示领域光刻(TFT,OLED)等高端装备。

“从设计到使用,芯片制造是重要环节,而光刻工艺更是制造的核心,所谓光刻就是将集成电路刻在硅片上。”据芯碁总经理方林介绍,激光直写光刻机、双台面激光曝光机……这些用在集成电路制造领域的核心装备,公司拥有完全自主知识产权,填补了国内高端集成电路装备产业的空白。

目前,该公司目前已成为行业内标杆企业,2018年销售收入已达到一个亿,预计2019年销售收入可达2个亿以上。“这不仅是我们努力的结果,更得益于高新区优质的投资环境和产业政策的扶持。”方林表示。

据悉,2019年芯碁还将建成35000平方米的生产、研发、办公基地,实现基地的科技化、现代化和智能化,届时将形成年产10个亿以上的生产能力。

编辑: 荚妤 返回合肥在线首页
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